立式氣氛爐的爐膛采用莫來石聚輕+硅酸鋁纖維材料砌筑而成，爐膛內(nèi)上下用碳化硅棚板，爐內(nèi)溫度是加熱元件在加熱過程中經(jīng)過碳化硅棚板傳導（暗火加熱），溫度更均勻。爐殼全密封。為提高密封墊的使用壽命在爐門口設有循環(huán)水冷套以降低密封處的溫度。進氣設爐膛頂部，經(jīng)加熱腔預熱后分多處進入爐內(nèi)，排氣經(jīng)爐膛底后部排出，裝有一調(diào)節(jié)閥，用于排氣口的開關。氣路上裝有氣體流量計，用于正常使用控制氣氛流量。裝有微壓表，檢測電爐是否漏氣。在爐口有一放水口，用于排出爐內(nèi)在充氣升溫過程中產(chǎn)生的水份。

　　立式氣氛爐的真空系統(tǒng)：

　　1.真空機組為旋片泵-羅茨泵。

　　2.配有高真空擋板閥門、波紋管、電磁放氣閥、管路等。

　　3.真空閥門均采用氣動高真空擋板閥。該閥門的開啟與閉合均由PLC控制，且聯(lián)動互鎖，斷電時閥門自動關閉以保證氣氛爐爐內(nèi)真空度，避免工件氧化。

　　4.真空測量采用數(shù)顯真空計及配套規(guī)管，該真空計可以實現(xiàn)測量過程中的量程自動轉(zhuǎn)換和超程保護，并具有數(shù)據(jù)輸出、故障報警等多種功能。

　　立式氣氛爐適用于金屬、納米、單晶硅、多晶硅、電池等的擴散焊接，氣氛熱處理的加熱設備用于材料或化學實驗室，在氣氛狀態(tài)下燒結(jié)各種新材料樣品。立式氣氛爐爐體的密封包括幾個部分：

　　1.水冷套下部有一進水管，上部有一出水管，并有一出氣口和進氣口；

　　2.爐體采用密封式焊接，并做煤油滲漏檢查；

　　3.爐內(nèi)膽與爐蓋采用高溫硅膠墊密封；

　　4.氣氛爐爐體的下部，左部、右部安裝有進氣管和閥門，供用氣體洗爐膛用；

　　5.氣氛爐的爐門板通過螺栓與水冷套面板壓緊，爐體后部設一進氣口，以不銹鋼針閥和爐體右邊的浮子流量計控制進氣量。爐體前端的水冷套部設有排氣管，用于排除爐內(nèi)廢氣。排氣管上裝有球閥，可控制排氣量大小。