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雙側(cè)滑軌式快速退火爐

簡要描述:雙側(cè)滑軌式快速退火爐1200℃
 主要用途:主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長。

詳細介紹

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雙側(cè)滑軌式快速退火爐1200℃

 主要用途:主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長。

產(chǎn)品用途:

主要用于離子注入后快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火、氧化物生長,其它快速熱處理工藝。

雙側(cè)滑軌式快速退火爐1200℃

產(chǎn)品結(jié)構(gòu): 

1、采用進口鎢燈管為發(fā)熱元件,升溫速度高達200℃/s;

2、爐膛材料采用進口陶瓷纖維,內(nèi)有進口氧化鋁涂層,抗熱沖擊;

3、保護管采用高純石英管 ,可沖入多種氣體;

4、石英管兩端采用不銹鋼密封法蘭,耐高溫、耐腐蝕;

5、滑軌采用鋁合金*滑道;

6、爐體采用雙層空氣隔熱技術(shù),配有自動冷卻風扇,降低爐體外殼溫度;

8、選配無紙記錄儀,記錄、存儲、顯示當前或歷史溫度曲線,也可通過U盤轉(zhuǎn)存入電腦。

9、選配西尼特智能溫控軟件,通過電腦進行全程操作;

10、使用溫度超過900℃請接冷卻水,以免密封圈受損;

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱

單位

型號

HY-5-10

HY-6-10

HY-7-10

HY-9-10

HY-10-10

額定功率

kw

9

9

9

9

9

額定電壓

v

220

220

220

220

220

溫度

1000

1000

1000

1000

1000

工作溫度

950

950

950

950

950

相數(shù)

加熱區(qū)

mm

350

350

350

350

350

石英管

直徑

Φ50

Φ60

Φ70/80

Φ90

Φ100

長度

L=1300

L=1300

L=1300

L=1300

L=1300

保護氣體

 

氮氣 氬氣

氮氣 氬氣

氮氣 氬氣

氮氣 氬氣

氮氣 氬氣

流量計種類

 

浮子流量計

浮子流量計

浮子流量計

浮子流量計

浮子流量計

爐膛材料

 

進口纖維

進口纖維

進口纖維

進口纖維

進口纖維

加熱元件

 

碘鎢燈

碘鎢燈

碘鎢燈

碘鎢燈

碘鎢燈

移動間距

mm

400

400

400

400

400

滑軌長度

mm

1350

1350

1350

1350

1350

爐體尺寸

長寬高

645*465*785

645*465*785

645*465*785

645*465*785

645*465*785

真空度

可選機械泵(6.67pa或擴散泵(6.67*10-2

標配件

高溫鉤,高溫堵頭,石英舟,高溫手套。

 

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